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名称 氮化硅S110 氮化硅S110H 氮化硅S120 氮化硅S132H 氮化硅S140
特性 High Pore-less Standard Pore-less Standard
Strength
一般性性质 颜色 浅灰色 浅灰色 浅灰色 灰色 灰色
密度(g/cm3) 3.24 3.25 3.22 3.14 3.2
机械性性质 弯强度(MPa) 880 1180 690 620 490
破坏韧性(Mpa1/2) 6.5 6.5 6 2.7 4.6
杨氏弹性模量(GPa) 290 300 300 260 280
泊松比 0.27 0.27 0.27 0.29 0.27
硬度(GPa) 14.5 14.7 12.7 12.5 12.7
电性性质 抵抗体积
[RT](Ωㆍcm)
>1014 >1014 >1014 >1014 >1014
电容率(1MHz) - - - - -
热性性质 热膨胀系数
x10-6/K(23℃)
1.3 1.3 1.3 1.3 1.3
热传导率[RT](W/mk) 21 21 21 18 21
冲击抵抗 750℃ - 700 - -
 
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