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Stroke (mm) 刚性 (kgf/㎛) 最大负载 (kgf) 气流量 (NL/min) 直行度 (㎛/Stroke)
25 上下:1.0 2 8以下 上下:0.1
左右:0.8 左右:0.1
50 上下:1.0 2 8以下 上下:0.2
左右:0.8 左右:0.1
100 上下:2.0 4 13以下 上下:0.2
左右:1.5 左右:0.2
25 上下:2.0 4 10以下 上下:0.1
左右:1.5 左右:0.1
50 上下:2.0 4 10以下 上下:0.1
左右:1.5 左右:0.1
100 上下:4.0 8 15以下 上下:0.2
左右:3.0 左右:0.2
 
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