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基片名
项目(单位)
96%
氧化铝基片
99.6%
氧化铝基片
氮化铝基片
材质 96% Al2O3 99.5%Al2O3 AlN
密度[g/㎤] 3.7 3.9 3.3
弯强度(25℃) [MPa] 320 440 350
热膨胀系数(25~800℃) 6.5X10 -6 8X10 -6 4.6X10 -6
热传导率(25℃) [W/m·K] 25 32 170
杨氏弹性模量 [GPa] 310 380 320
固有抵抗体积 [Ω·cm] 1015 1015 1015
介电常数(25℃10GHz) 9.3 9.8 8.5
遗传率(25℃10GHz) 1X10 -4 1X10 -4 -
绝缘破坏电压[kV/mm] 10 10 15
表面粗糙度 [㎛] 0.3~0.5 0.1 0.03~0.5
标准厚度 [mm] 0.5, 0.635, 1 0.5~1.2 0.25~2t
 
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