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  名称 AlN-170 AlN-230 SiC Si3N4
一般性性质 颜色 灰色 灰色 黑色颜色 灰色
密度(g/cm3) 3.2 3.3 3.1 3.2
吸收率(%) 0 0 0 0
机械性性质 弯强度(MPa) 350 350 490 880
杨氏弹性模量(GPa) 320 - 390 290
泊松比 0.27 - 0.16 0.28
硬度(GPa) 14 - 20 16
电性性质 抵抗体积[RT](Ωㆍcm) 0.1x1015 0.1x1015 1x106以下 -
电容率(1MHz) 8.8 8.8 - -
热性性质 热膨胀系数[RT-800℃](/ ℃) 4.5X10 -6 4.5X10 -6 4.2X10 -6 3.2X10 -6
(200℃) (200℃)
热传导率[RT](W/mk) 170 230 75 25
冲击抵抗 400 - 400 700
 
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